ULVAC ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAT50D【送料無料】
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商品の説明
【商品詳細】
●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz:50/55●到達圧力(Pa):3.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm):12●電源(V):単相100●寸法(mm):150×232×305●騒音値(dB):-●吸排気管径(mm):O.D.φ12×I.D.φ8(Rc1/4)●サーマルプロテクタ付●到達圧力(KPa):3.3●吸排気管径(mm):O.D.φ12×I.D.φ8(Rc1/4)●最大寸法(mm):150(W)×232(L)×305(H)●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取
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