マスフローコントローラー 20SLM N2 C1020-4S2-20L-N2 (3-6947-02)

商品情報
<商品詳細参考ページ>外部リンク：https://axel.as-1.co.jp/asone/d/3-6947-02/●事業者向け商品です●流量（SLM）：20●ガス：N2●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15〜35℃）●再現性：±0.2％FS●流量制御範囲：5〜100％FS●流体：気体●使用可能温度：5〜50℃　85%RH以下●応答性：6sec●動作圧力範囲：50〜300kPa●耐圧：1MPa（G）●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec（He）以下●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム●表面処理：機械加工仕上げ●継手：1/4in.SWL相当●入出力：アナログ信号（0〜5VDC）●バルブ形式：N/O　ノーマルオープン●駆動電源：+15VDC±5%　60mA、−15VDC±5%　150mA●通信方式：アナログ0〜5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）●サイズ：160×33.6×105mm
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