ULVAC DA-121DE単相200V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ排気速度120/145 DA-121DE 200V

¥82561

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商品の説明

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【メーカー】
●（株）アルバック
【特長】
●ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。
●サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
●シンプル構造でメンテナンスも容易です。
【用途】
●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
●分析機器、理化学機器。
●半導体検査装置。
●デバイス組立。
●自動機、包装機。
【仕様】
●排気速度(L/min)50/60Hz：120/145
●到達圧力(Pa)：3.3×10［［の３乗］］
●吸気口径(mm)：16
●電源(V)：単相200
●全幅(mm)：193.5
●全長(mm)：411
●全高(mm)：285
●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)
【注意】
●「DA-121D」「DA-241S」には、バランスポートが装備されています。
●これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。
●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取除く必要があります。
【質量】
●26.000KG