安立計器 熱電対付きシリコンウェーハ AW-0505K-A-TS1-ANP

商品情報
【特長】 ●AWシリーズは半導体製造装置の開発・プロセス条件出しや温度分布計測に必要不可欠な”熱電対付きシリコンウェーハ”です 【用途】 ●シリコンウェーハを用いた半導体製造工程でのレジスト装置内のステージ温度測定等 【仕様】 ●使用温度範囲(℃):0〜500 ●100〜200℃における許容差(℃):±5.0 ●熱電対の種類:Kタイプ ●ウェーハサイズ(インチ):5 ●センサ点数:5 ●絶縁被覆材質:アルミナ繊維スリーブ ●コードの長さ(m):1 ●プラグ形状:ミニプラグ0〜500 【注意事項】 ●検査成績書は標準付属です。【入数】 1個
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熱電対付きシリコンウェーハ AWシリーズ


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